產品特點
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高效產能:僅需一片晶圓即可達成 UPH 30K,專為小尺寸晶片打造。
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智能製程:具備複數取放固晶系統,並可自動修正晶片位置。
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即時監控:全程監控噴膠與固晶狀況,內建膠量辨識與良率統計。
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自動機制:發現漏挑時系統自動補挑,提升挑揀良率,減少晶片損失。
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靈活熱壓:熱壓頭支援快速固化膠製程,且各工作區獨立控制。
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品質把關:固化後自動拍照檢測,並支援不良標記採用熱轉印技術。
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模組設計:測試模組可靈活配置,支援移動式或固定式測試方案。
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智慧管理:軟體可自動計算料帶長度,方便生產追蹤與管理。
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穩定可靠:全流程自動化設計,降低人為誤差並確保長時間穩定運行。
產品規格
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固晶產能效率:30,000枚/小時
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串機產能效率:60,000枚/小時
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固晶精度:± 30μm
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角度精度:± 2°
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熱壓溫度:常溫~300 ± 5°C
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可生產100~385mm幅寬內產品
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可多道生產、測試、分切、收料